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产品中心以“微电子&生物制药净化工程、防静电&洁净厂房工位器具制造、生产环境控污防护设备、代理进口无尘净化耗材”四大支柱产业为核心；开发低能耗，低污染，节能减排的生态环保洁净产品，竭力服务于现代化精益工业制造系统。
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应用领域强大的创新研发能力，拥有多项专利及研究成果，产品广泛应用于微电子半导体集成电路产业、生物制药及医疗工程、汽车装饰及制造产业、精细化工与日用化学、电子元器件制造业、jing密仪器仪表制造、云电视&智能手机制造业、电子焊接贴片SMT&PCB、能源科技-光伏-风力发电产业、航空航天、军工兵器制造业、标签印刷&智能卡制造业等高
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结合深度学习、速度和灵敏度，Voyager® 1035为芯片生产保驾护航
芯片制造包含了上千个工艺步骤。每个步骤都需要极高的精度与控制，以高效快速地从裸硅晶圆开始并制成最终的功能芯片。我们全新的Voyager® 1035激光扫描图案晶圆检测仪可以在量产和批量生产期间监控关键工艺步骤并指引芯片制造。通过对关键缺陷进行在线侦测和标识，Voyager 1035检测仪有助于确保各个工艺步骤都通向成功的芯片生产之路。
作为先进逻辑和内存芯片制造中的在线缺陷监控设备，Voyager 1035在灵敏度、速度和购置成本之间实现了最佳平衡。对于关键的工艺监控应用，Voyager 1035中的独特架构、深度学习算法和多项先进技术，使其在保持高产量的同时实现了业界最佳的激光扫描灵敏度。这可确保晶圆厂工程师及时收到具有实际操作性的缺陷数据，以采取必要的纠正措施并保持芯片生产的正常运行。
Voyager 1035的标志性特点是DefectWise®深度学习技术。DefectWise可以快速实现关键缺陷与图案噪声及杂讯的在线区分，从而提高灵敏度和关键缺陷的捕获率。通过准确的缺陷分类，DefectWise缩短了晶圆厂工程师从捕获到纠正工艺偏差所需的时间。
Voyager 1035 中用于提高灵敏度和产能的其他主要功能包括：
▪ 行业中独一无二的斜入射光源和镜头外设计，可降低检测噪音并提高缺陷捕获率
▪ 行业中最大的信号采集角度可以针对关键缺陷产生更多信号，以及捕获来自更多缺陷类型的信号
▪ 三个分离的信号采集通道，可以有效地实现高缺陷信噪比
▪ QE(量子效率)提高30%的新型传感器可在显影后检测(ADI)和用于EUV光刻的光刻单元监控(PCM)等应用中通过对脆弱的光阻进行安全无损的检测以实现更高的产量和灵敏度
▪ 与上一代Voyager相比，更小尺寸的像素将分辨率提高了70%，从而提高了对与良率相关的极小缺陷类型的灵敏度
关键词：
结合深度学习、速度和灵敏度，Voyager® 1035为芯片生产保驾护航上一条： 恶意电路威胁之硬件木马
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