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产品中心以“微电子&生物制药净化工程、防静电&洁净厂房工位器具制造、生产环境控污防护设备、代理进口无尘净化耗材”四大支柱产业为核心；开发低能耗，低污染，节能减排的生态环保洁净产品，竭力服务于现代化精益工业制造系统。
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应用领域强大的创新研发能力，拥有多项专利及研究成果，产品广泛应用于微电子半导体集成电路产业、生物制药及医疗工程、汽车装饰及制造产业、精细化工与日用化学、电子元器件制造业、jing密仪器仪表制造、云电视&智能手机制造业、电子焊接贴片SMT&PCB、能源科技-光伏-风力发电产业、航空航天、军工兵器制造业、标签印刷&智能卡制造业等高
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上海微系统所实现片上亚纳米量级的超灵敏位移传感
近日，中国科学院上海微系统所信息功能与材料国家重点实验室硅光子课题组研究员武爱民团队、深圳大学教授袁小聪、杜路平团队及英国伦敦国王学院教授AnatolyV.Zayats课题组合作，在硅衬底上提出了基于布洛赫表面光场的非对称传输特性实现超灵敏位移测量的方法，并实现了亚纳米级的位移传感。相关研究成果发表在Nanoscale上，并被选为当期封面文章。
光学手段为精密位移测量提供了非接触的方案，可实现高灵敏度、高分辨率的位移检测，在纳米尺度位移传感、半导体技术及量子技术等领域具有重要应用。目前广泛应用的激光干涉法具有非接触和精度高的特点，然而，其对激光波长的稳定性要求高且严重依赖光学器件和光学路径，难以满足光学系统集成化和轻量化的发展需求。
布洛赫表面波产生于多层介质膜与周围环境的界面处，具有低损耗，宽色散域，高定向性和CMOS兼容等优势。该研究基于硅基衬底，利用不对称狭缝形成纳米天线调控布洛赫表面波，实现了布洛赫表面光场的非对称传输，布洛赫表面波的不对称光场对纳米天线和入射高斯光场的相对位置具有超灵敏的依赖作用，通过对其远场表征就可以获得精确到亚纳米量级灵敏度的位移传感。该工作利用纳米尺度的狭缝实现了布洛赫表面波的非对称传输，通过连续改变光与狭缝的相对位置，在实验上实现了对于位移的精确测量，灵敏度可达0.12nm-1，分辨率和量程达到8nm和300nm。该研究为纳米测量及超分辨显微提供了新的物理原理，并为超灵敏的位移测量提供了精巧的微型化方案。
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上海微系统所实现片上亚纳米量级的超灵敏位移传感热点资讯Hot News
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